準分子激光精密加工系統(tǒng)
產(chǎn)品描述
準分子激光精密加工系統(tǒng)是以紫外、深紫外波段激光配合定制化的光路整形系統(tǒng)，可應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示及微電子行業(yè)的光刻、蒸鍍、蝕刻、退火、表面處理、剝離、檢測等不同工藝。
產(chǎn)品特點
- 激光器穩(wěn)定、壽命長
- 加工精度高
- 高精度運動平臺
- 平頂均勻分布光斑
- 適合多種半導(dǎo)體工藝
- 高度自動化集成
系統(tǒng)參數(shù)
| 波長 | 308nm、248nm、193nm |
| 功率 | 1200W |
| 重復(fù)頻率 | 300Hz |
| 加工精度 | ±1μm |
| 晶圓尺寸 | 2/4/8/12inch |
產(chǎn)品應(yīng)用
- LED/OLED wafer劃線/燒蝕/剝離
- 生物醫(yī)學(xué)微電路加工
- 聚合物噴墨嘴加工
- 陶瓷微流器件加工
- 太陽能電池薄膜加工
樣品展示
- 材料：LED & OLED面板
- 加工速度：＞150mm/s
- 用途：晶圓切割、劃線、剝離、燒蝕
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