長脈沖激光如納秒激光微加工，其原理是基于材料中的電子共振線性吸收獲得的能量，將材料逐步熔化、蒸發(fā)移除。由于激光脈沖持續(xù)時間較長，遠大于材料熱擴散的時間，電子傳遞給離子的能量很高，熱擴散涉及比焦點更大的區(qū)域，激光聚焦點周圍一個較大的體積會被熔化，使得加工區(qū)域邊緣不清晰，加工精度有限。而超快激光在極短的時間和極小的空間內(nèi)與物質(zhì)相互作用，作用區(qū)域內(nèi)的溫度在瞬間內(nèi)急劇上升，并以等離子體向外噴發(fā)的形式得到去除。嚴格避免了熱融化的存在，大大減弱和消除了傳統(tǒng)加工中熱效應(yīng)帶來的諸多負面影響，超快激光微加工和材料相互作用的時間很短，使得能量以等離子體的形式被迅速帶走，熱量來不及在材料內(nèi)部擴散，熱影響區(qū)非常小，不會產(chǎn)生重鑄層，屬于冷加工，呈現(xiàn)銳利的加工邊緣，加工精度高。

圖｜納秒激光、皮秒激光、飛秒激光加工對比